SuperView W1白光干涉儀——微觀形貌測量利器
2021-08-11
近年來,在新興技術的高速發(fā)展和強力推動下,超精密加工技術不斷發(fā)展和進步。微機電系統(tǒng)、微光學元件等微觀結構的制造與發(fā)展,對微結構表面形貌測量的高精度和高可靠性等要求日漸提高。表面形貌不僅對接觸部件的機械與物理特性產生影響,而且也會影響非接觸表面的特性,如光學器件的反射等等。對結構的測量是對結構加工的先決條件和質量保證,所以表面形貌的測量在材料和工程零部件的屬性和功能方面起著至關重要的作用,由此對于微納結構的測量方法精度要求越來越高,表面形貌測量技術在技術成熟方面和應用范圍方面都...