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中圖儀器SEM超清掃描電鏡品牌采用鎢燈絲電子槍，可以在相對較低的真空度下工作，通常只需要兩級真空泵系統(tǒng)獲得 0.001Pa 左右的真空度即可滿足要求，而不需要像場發(fā)射電子槍那樣的超高真空環(huán)境，這不僅降低了真空系統(tǒng)的復雜度和成本，還縮短了抽真空的時間，提高了工作效率。

中圖儀器VT6000系列白光干涉共聚焦顯微鏡光源采用白光LED，以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)，保證儀器的高測量精度。

NS系列膜厚臺階儀其線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

CEM3000系列鎢燈絲掃描電子顯微鏡采用的鎢燈絲電子槍控制相對簡單，操作容易上手，不需要專業(yè)的、長時間的培訓即可掌握其基本操作技能，適合廣大用戶使用，尤其是對于那些沒有深厚電子顯微鏡操作經(jīng)驗的初學者或非專業(yè)技術(shù)人員來說，更容易快速熟悉和使用設(shè)備，開展相關(guān)的檢測和研究工作。

中圖儀器CEM3000高分辨率科研臺式掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。不同于立式電鏡，CEM3000系列臺式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。

SuperViewW桌面式白光干涉光學輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。