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SJ5800表面粗糙度輪廓度一體測量儀超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、特殊紅寶石轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)提供轉(zhuǎn)動的超高靈敏度及測量精度。分辨率高達到0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm，輪廓和粗糙度一體測量，無需切換模塊。

SuperViewW光學(xué)3D表面形貌儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器螺紋輪廓測量儀可實現(xiàn)X、Z雙軸聯(lián)動掃描，測量時測針在工件表面做仿形運動掃描（主動掃描），既保持了恒測力，又保證了大的陡坡通過能力，工件調(diào)平操作簡單，同時避免了崩針、掛針等問題。可以全量程大范圍連續(xù)掃描，擁有長達數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力，非常適合大范圍陡坡表面測量，大工件無需翻轉(zhuǎn)、傾斜調(diào)整，就可實現(xiàn)輕松測量。

SJ5800工件輪廓圓度接觸式測量儀可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進行粗糙度及輪廓尺寸一次性檢測，如圓弧面和球面、異型曲面進行多種粗糙度參數(shù)（如Ra、Rz等）、微觀輪廓度Pt、波紋度參數(shù)的測量。

SuperViewW材料表面光學(xué)三維形貌儀也叫白光干涉儀、光學(xué)3D表面輪廓儀。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

SuperViewW摩擦磨損三維形貌輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式測量分析劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量等。它結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率......